核热力学(关于核热力学的简介)

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1、 核热力学可用来研究凹形微结构在汽相沉积过程中点状结构的生长速率。

2、凹结构内的稳定原子团生长速率远远大于平面处稳定原子团的生长速率。

3、因此，与平面相比，凹结构内稳定原子团不仅可以优先成核，而且可以获得加速生长。

4、依据核热力学数据可知，在平面处尚无发生成核时，凹结构就已生长出点状结构。

5、如果在衬底平面处预沉积一层成核阻挡层，那么微结构内的点状结构生长就更易于控制。

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